Making planar electrochemical microcell used in analysis system, comprises providing substrate including first and second layers made of electrically insulating and conductive materials, and etching second layer by laser radiation pulses
Microcellules électrochimiques planaires intégrées réalisées par micro-usinage laser
Résumé
Procédé de fabrication de microcellules électrochimiques planaires, comportant : - la fourniture d'un substrat, ce substrat s'étendant essentiellement dans un plan dit plan du substrat et comprenant : - une première couche d'un matériau électriquement isolant - une deuxième couche d'un matériau électriquement conducteur, cette deuxième couche étant directement déposée sur la première couche - la gravure de la deuxième couche, pour délimiter et isoler électriquement l'une de l'autre : - une électrode de travail - une contre-électrode - une électrode dite de référence. Selon l'invention, la gravure de la deuxième couche est réalisée au moyen d'une succession d'impulsions d'un rayonnement laser, la durée de chacune de ces impulsions étant inférieure à 100ps, ces impulsions étant répétées avec une fréquence de répétition supérieure ou égale à 1kHz.